地方独立行政法人大阪産業技術研究所 - 当法人は、(地独)大阪府立産業技術総合研究所と(地独)大阪市立工業研究所が統合し、平成29年4月1日にスタートしました。研究開発から製造まで、企業の開発ステージに応じた支援を一気通貫で提供し、大阪産業の更なる飛躍に向け、大阪発のイノベーションを創出します。

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マイクロデバイス開発支援センターのご案内

MEMS・高機能性薄膜作製技術を用いて,デバイスを小型化しませんか
マイクロデバイス開発支援センターがお手伝いいたします

マイクロデバイス開発支援センターでは、
『はじめてMEMSデバイスを開発したい。アイデアはあるが、MEMSデバイスの試作開発にお困りの方』
『高機能性薄膜の作製をしたい。アイデアはあるが、作製装置や作製方法にお困りの方』
・・・

そんな、みなさまへのお手伝いをいたします!

MEMSデバイス,高機能性薄膜作製装置のご利用のほか、設計、試作で抱えておられる問題に関しても、技術相談、受託研究等でご協力いたします。


 マイクロデバイス開発支援センターのパンフレットはこちらからダウンロード可能です。

  マイクロデバイス開発支援センターへのご連絡は,地方独立行政法人大阪産業技術研究所の総合受付までお願いいたします。
    ・ 電 話 : 0725-51-2525 ( 総合受付 : 9:00~17:30 )


Topics

「センサイトWEBジャーナル」2022年2月号(センサイト協議会)に、弊所電子デバイス研究室の技術支援について紹介されました。

マイクロデバイス開発をサポートする装置群

マイクロデバイス開発をサポートする装置群の一部をご紹介いたします。
装置群を①成膜、②パターニング、③加工、④評価の4グループに
分類して表示しています。
装置の写真をクリックしていただくと、装置の概要が表示されます。

① 成膜
  マグネトロンスパッタ装置 
半導体デバイス製造用スパッタ装置