高精細両面マスクアライナー

装置番号

E1015

構成装置・型番

メーカー・名称	型番
ズースマイクロテック社	MA6

ヨミ

コウセイサイリョウメンマスクアライナー

料金

6,800円 1時間　(消費税10%を含みます)

仕様

関連装置

関連資料・リンク

概要: 本装置は,ビデオキャプチャ機能を使った両面アライメントと露光が可能です。露光方式には,コンタクト露光の他にプロキシミティ露光が可能です。プロキシミティ露光とは,フォトレジストをフォトマスクに接触させない露光のことであり,フォトレジストの剥離とフォトマスクへのフォトレジスト付着を防ぐことが出来ます。