マグネトロンスパッタ装置
- 装置番号
- A9362
- 構成装置・型番
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| メーカー・名称 | 型番 |
| 株式会社大阪真空機器製作所 | MS-3C100L |
- ヨミ
- マグネトロンスパッタソウチ
- 料金
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9,900円 1時間 (消費税10%を含みます)
- 仕様
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| ターゲットサイズ | φ100×t5 (mm) |
| 基板サイズ | 最大 φ200 ~ t20 (mm) |
| 基板枚数 | 4枚(ロードロック室への最大格納枚数) |
| ターゲット基板間距離 | 100~150 (mm) |
| 基板ホルダ温度 | 0~200 (°C) |
| スパッタ電源 | DC 3 kW, RF 1 kW |
| 使用ガス | Ar, O2 , N2 |
- 関連装置
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- 関連資料・リンク
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- 概要
- 本装置は, ロードロック室と製膜室で構成されています. 本装置ではマグネトロンスパッタ法により, スパッタターゲット表面にイオン原子を衝突させ, 飛び出したターゲット材料の粒子を基板上に再構成することで薄膜を作製します. プラズマ中のイオン原子の制御や共スパッタリングによって, 酸化膜や窒化膜, 異種材料の混合薄膜など様々な種類の機能性薄膜を作製することができます. また, ロードロック機能や自動運転機能, 自動製膜ログ機能等を備え, 効率的に作業を行える装置となっています.
- 参考画像
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