半導体熱処理・拡散・CVD炉

装置番号
A3134
構成装置・型番
メーカー・名称型番
光洋サーモシステム株式会社274A(ALP)-M400
ヨミ
ハンドウタイネツショリロ
料金
34,200円 半日 (消費税10%を含みます)
仕様
試料サイズ2インチ,3インチ,4インチ径基板
バッチ処理数20枚
熱酸化炉最高温度1100 °C
LPCVD炉SIN(780°C),ポリシリコン(600°C)
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関連資料・リンク
参考画像