マスクレス露光装置

装置番号

A8306

構成装置・型番

メーカー・名称	型番
HEIDELBERG・フォトマスク作製装置	MLA 150

ヨミ

マスクレスロコウソウチ

料金

8,100円 1時間　(消費税10%を含みます)

仕様

関連装置

概要: 本装置は、フォトリソグラフィに使用するフォトマスクの作製が行えるほか、マスクレスでパターンを基板に直接描画が可能です。光源に波長375 nmの固体レーザを、光学系にDigital Micromirror Deviceを用いています。描画範囲がφ4インチの場合、市販のフォトレジストが塗布されたマスクブランクスであれば20分程度で描画が完了します。直接描画では高精度なアライメント機能も活用できます。