高速シリコンディープエッチング装置

装置番号
A9293
構成装置・型番
メーカー・名称型番
SPPテクノロジーズMUC-21 ASE-SRE
ヨミ
コウソクシリコンディープエッチングソウチ
料金
10,500円 1時間 (消費税10%を含みます)
仕様
最大基板サイズ200 mm径シリコン基板
最大エッチング速度5 ミクロン/分
アスペクト比30
エッチング選択比レジスト100
エッチング選択比酸化膜200
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