イオンビームエッチング装置

装置番号
A3028
構成装置・型番
メーカー・名称型番
サムコ株式会社RIE-10N
ヨミ
イオンビームエッチング
料金
8,200円 半日 (消費税10%を含みます)
仕様
最大試料サイズ200 mm径基板
最大RF電力200 W
プロセスガス酸素,CF4,CHF3,SF6
エッチング対象フォトレジスト,SiN,SiO2,PolySi
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参考画像