地方独立行政法人大阪産業技術研究所 - 当法人は、(地独)大阪府立産業技術総合研究所と(地独)大阪市立工業研究所が統合し、平成29年4月1日にスタートしました。研究開発から製造まで、企業の開発ステージに応じた支援を一気通貫で提供し、大阪産業の更なる飛躍に向け、大阪発のイノベーションを創出します。

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マイクロデバイス開発支援センター

      

センター概要

マイクロデバイス開発支援センター イメージ

マイクロデバイスの技術開発を総合的にサポートします。

マイクロデバイス開発支援センターでは成膜、パターニング、加工、評価用装置を揃えています。マイクロデバイス(MEMS*デバイス**を含む)の開発を技術支援します。

*MEMS・・・Micro Electro Mechanical Systemsの頭文字からメムスと呼ばれています。

**MEMSデバイス・・・立体構造体をした機械的機能と電気的機能を合わせ持ったデバイスを指します。
(製品例:振動発電デバイス、MEMSマイク、デジタルミラーデバイス等)

 

ご利用いただける内容

  • 各種デバイス作製プロセス、設計、評価のご相談
  • 各種薄膜作製装置(各種スパッタ、EB蒸着装置等)
  • 各種プラズマエッチング装置(RIE、ICP-RIE、DRIE等)
  • フォトリソグラフィ関連装置
  • デバイス、薄膜の評価(電気特性、磁気特性、光学特性、表面粗さ、膜厚、密着性、組成等)
  • 信号処理に関する相談、支援

その他、マイクロデバイスの技術支援を総合的にサポートします。お気軽にご相談ください。

 マイクロデバイス開発支援センターの詳しいご案内はこちら

 

パンフレット

本センターの詳細については、下記パンフレットをご覧ください。

マイクロデバイス開発支援センター パンフレット(PDF:2MB)

 

      

インフォメーション

依頼試験、技術相談、相談内容で担当部署がわからない場合など、下記相談窓口へお尋ねください。

本部・和泉センター

本部・和泉センター・写真

(技術相談・総合受付)
0725-51-2525

9:00~12:15/13:00~17:30
(土日祝・年末年始を除く)


森之宮センター

森之宮センター・写真

(総合受付)
06-6963-8011

(技術相談)
06-6963-8181

9:00~12:15/13:00~17:30
(土日祝・年末年始を除く)