地方独立行政法人大阪産業技術研究所 - 当法人は、(地独)大阪府立産業技術総合研究所と(地独)大阪市立工業研究所が統合し、平成29年4月1日にスタートしました。研究開発から製造まで、企業の開発ステージに応じた支援を一気通貫で提供し、大阪産業の更なる飛躍に向け、大阪発のイノベーションを創出します。

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電気学会 センサ・マイクロマシン部門 総合研究会 優秀論文発表賞

      
受賞者 田中 恒久
授与者 電気学会 センサ・マイクロマシン部門
受賞日 令和2年9月4日
受賞対象テーマ 1 MHz型空中超音波マイクロアレイセンサの開発

概要


 非破壊検査分野において,高周波の超音波を検出できるMEMSセンサが求められている。この要求に応えるために共振周波数1 MHz級のMEMS超音波センサの開発を行った。下部電極材料に金とアルミニウムの2種類の材料を用いたセンサを試作し,1 MHzの超音波の受信特性を比較した。測定結果より下部電極材料にアルミニウムを用いたセンサの1 MHzの超音波の検出感度が,金を用いたセンサに対して4.2倍になる結果が得られた。下部電極材料にアルミニウムを用いた高周波MEMS超音波センサは,今後非破壊検査分野への応用が期待される。


      

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