口2025-0052

発表題目	サブテラヘルツ帯BIC共振器における形状誤差の影響評価
発表者名	○近藤 裕佑、村上修一、他
発表会名	第86回応用物理学会秋季学術講演会
発表日	2025/9/7

概要

本研究では、Bound State in the Continuum(BIC)を用いた高Q値フォトニックキャビティのテラヘルツ帯への応用を目指し、シリコン基板上の二層フォトニック結晶共振器構造を対象に、Γ点BICのQ値および共振特性をRCWA法により評価した。サブテラへルツ帯に共振周波数を持つ構造を設計し、層間距離の変化による透過スペクトルを解析した結果、非対称なFano共鳴とBICの存在を確認した。この基本構造をもとに穴位置のずれ・孔径公差・孔径の厚み方向変化といった加工誤差に対する感度解析を行い、共振周波数やQ値への影響を定量的に評価した。