口2025-0043

発表題目	MEMS技術を利用した薄膜熱特性測定技術の検討
発表者名	○山田 義春、筧 芳治
発表会名	第86回応用物理学会秋季学術講演会
発表日	2025/9/7

概要

持続可能な社会の実現に向けて熱電発電や熱流制御技術への期待が高まっている。このため、薄膜材料の熱特性を精密に測定する技術が求められている。しかし、薄膜材料の測定においては、基板の影響が大きいため、特に熱伝導率の測定は容易ではない。これまで、いくつかの手法が提案されているが、いずれも高価な装置や複雑な解析が必要などの課題がある。本研究では、熱容量が非常に小さいというダイアフラム構造の特徴を活かした、薄膜の熱特性を簡便に測定する手法について検討したので報告する。