口2025-0083

発表題目	圧電MEMSデバイスの非線形振動現象に関する考察
発表者名	○村上 修一、他
発表会名	第16回集積化MEMS技術研究ワークショップ
発表日	2025/7/31

概要

圧電体膜を用いてMEMS微細加工技術により作製された圧電MEMSデバイスにおいて、特にダイアフラムや片持ち梁の共振振動を活用する場合、その振動特性の非線形性について今までに多数報告されている。非線形振動について解析する際には、次のような周期的励振力と減衰力の入ったDuffing方程式を基本にした一自由度バネ・質量・ダッシュポット系モデルを用いることが多い。これまでに我々がPb(Zr,Ti)O3圧電体膜やBiFeO3圧電体膜を使った圧電MEMS振動発電デバイスなどを設計・試作・評価して見出した非線形性について主に紹介し、硬化・軟化ばね、非線形粘性減衰項等を追加して考慮した数値計算結果の観点から議論する。