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【ORIST技術セミナー　MOBIO-Cafe】(9/5)

半導体微細加工とMEMS技術

IoT社会到来により生まれるビジネスチャンス

～需要が多種多様化する電子機器～

　「半導体微細加工」という言葉から、超LSI、大量生産、莫大な投資などをイメージされることが多いと思います。しかしながら、それは「半導体微細加工」の1面でしかありません。半導体微細加工から発展したMEMS(Micro Electro Mechanical Systems)技術は、センサ、アクチュエータ、高周波（RF）フィルタなど様々なデバイスの開発に活用されています。それらはスマートフォン、ゲーム機、自動車などの身近な製品に数多く使われており、現代社会において必要不可欠なものになっています。更にIoT社会あるいは医療や宇宙など特殊な分野において電子機器に多種多様なカスタマイズ化が求められる中、小規模な投資、多彩なアイデアの活用可能、多品種小ロット化に特長のあるMEMS技術にさらなる注目が集まっています。

　本セミナーでは、半導体微細加工の概要を述べるとともに、どのようにMEMS技術に応用されているか、またMEMS分野に未着手の企業様にとって、どのようなビジネスモデルが成立するのかなどを詳しく解説いたします。