高精度フォトリソグラフ

装置番号
A3137
構成装置・型番
メーカー・名称型番
ズースマイクロテック社MA6
ヨミ
コウセイドフォトリソグラフ
料金
16,000円 半日 (消費税10%を含みます)
仕様
露光方式(ハード,ソフト)コンタクト,プロキシミティ
解像度1 ミクロン(コンタクト露光)
基板サイズ直径2~6インチ(50~150mm)
アライメント精度1 ミクロン
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