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| メーカー・名称 | 型番 |
|---|---|
| 東京精密製 非接触三次元表面粗さ・形状測定機 | Opt-scope R |
| 計測方式 | 東京精密独自の包絡線/絶対位相検出アルゴリズム |
|---|---|
| 対物レンズ垂直方向走査範囲(Z) | 20 mm |
| 垂直分解能(Z) | 0.01 nm |
| Z軸指示精度 | ± (0.1+|H/1000|) μm(H:測定高さ μm) |
| 対物レンズ倍率 | 5倍、10倍、20倍、50倍から選択(レボルバー回転式) |
| 水平分解能(X,Y) | 2.15 μm (5倍レンズ時) ~ 0.22 μm (50倍レンズ時) |
| テーブル可動範囲(X,Y) | 50 mm × 50 mm |
| テーブルチルト調整角度 | ± 1 ° |
| 最大試料重量 | 20 kg |
| 最大試料高さ | 200 mm |
| 解析用ソフトウェア | SURFCOM MAP Premium |
| 導入年 | 2022年(R4年) |